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高纯气体管道系统中气体与管道的关系?

2020-10-13 10:22:14    责任编辑: 高纯气体管道安装公司     0

近年来,以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求,使能保障高纯气体的纯度,减少杂质污染的配管技术也日益受到关注和重视。



首先我们先来简单了解一下电子行业中的常见气体:


普通气体,也称大宗气体 (Bulk gas ):

氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等


特种气体(Specialty gas ):

有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6.....等


特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半导体气体分类如下:

1. 腐蚀性/毒性:HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 等

2. 可燃性:H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

3. 助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3等

4. 惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等


半导体气体很多是对人体有害,如SiH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有AsH3的剧毒性等,这些都是显而易见的危险,所以对于能安全稳定输送用这些气体的高纯气体管道系统设计安全性的要求也特别高。



高纯气配管技术是高纯气体管道系统中重要的组成部分,包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容是能否将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术。


综上,可知气体管道系统中,管道是气体的运输载体,在保障气体纯度的情况下,将气体安全稳定的输送到用气点,保证生产安全和质量。