2025-08-12 10:02:33 0
全自动单瓶特气柜的特点讲解。全自动单瓶特气柜是专为存储和管理单瓶特种气体设计的设备,广泛应用于半导体、LED、光伏太阳能、生物医药等对气体纯度和安全性要求极高的行业。其核心特点可归纳为以下几个方面:
一、安全防护:多重保障,无懈可击
防爆设计
柜体采用防爆材质(如SS316L不锈钢)和防爆自锁门,搭配防爆玻璃观察窗,确保在气体泄漏或爆炸风险下仍能保持结构完整,防止火源或腐蚀性物质侵入。
泄漏监测与报警
内置高精度气体泄漏探测器,实时监测柜内气体浓度。一旦检测到泄漏,立即触发声光报警,并通过短信或电话通知操作人员,同时自动启动排风系统,将泄漏气体排出室外。
紧急切断功能
当设定报警信号被触发(如气体浓度超标、压力异常等),系统会自动切断气体供应,防止事故扩大。部分型号还支持远程紧急切断,提升应急响应速度。
防爆电控箱与高温报警
电控箱采用防爆设计,避免电气火花引发危险;高温探测报警功能可实时监测柜内温度,防止因过热导致气体分解或爆炸。
二、高效管理:智能控制,精准操作
PLC控制系统
以可编程逻辑控制器(PLC)为核心,搭配触摸屏人机界面,实现设备自动化运行。操作人员可通过触摸屏设定参数、监控状态,并一键执行吹扫、切换、报警确认等操作,大幅简化流程。
自动吹扫与切换
支持自动吹扫功能,在更换气瓶或设备启动前,用惰性气体(如氮气)清空管路,防止交叉污染;自动切换功能确保当气瓶压力低于设定值时,系统自动切换至备用气瓶,实现不间断供气。
远程监控与操作
通过网络或硬件接口,可将设备状态(如操作状况、报警信息、供气压力等)上传至中控系统,实现远程监控和操作。部分型号还支持手机APP控制,方便管理人员随时掌握设备运行情况。
数据记录与追溯
系统详细记录所有报警信息,包括报警时间、结束时间、确认时间及信息摘要,便于后续分析和追溯。同时支持操作日志记录,确保每一步操作都可查可控。
三、高纯输出:精密过滤,纯净保障
多级过滤系统
内置前端0.1μm过滤器和后端0.001μm终端过滤器,有效去除气体中的颗粒、水分和杂质,确保输出气体纯度达到行业最高标准(如9N以上),满足半导体制造等高精度工艺需求。
稳压稳流技术
采用先进的稳压稳流技术,确保输出气体的压力和流量恒定,不受外界因素(如气瓶压力下降、环境温度变化)干扰,保障工艺稳定性。
四、稳定运行:可靠设计,持久耐用
高稳定性控制主体
PLC控制系统动作可靠,故障率低,确保设备长期稳定运行。部分型号采用三菱PLC系统,具备快速服务、备件支持、在线技术支持等优势。
抗干扰性强
全封闭式金属箱体设计,有效屏蔽外界电磁干扰,保障设备在复杂工业环境中稳定工作。
模块化设计
面板部件采用模块化结构,便于维护和升级。所有接口均采用VCR接口,确保密封性和可靠性,减少泄漏风险。
五、定制化服务:灵活适配,满足多样需求
选配功能丰富
可根据用户需求选配工艺气瓶重量监控器、工艺气体超压报警、盘面加热及温控装置、报警信号手机短信与电话通知等功能,提升设备适用性。
支持特殊气体存储
适应燃爆性气体(如氢气、甲烷、乙炔)和毒腐性气体(如二氧化硫、硫化氢、氯化氢)的存储需求,通过特殊材质和安全设计,确保危险气体安全可控。
行业定制化方案
针对不同行业(如半导体、光伏、生物医药)的特殊需求,提供定制化解决方案,包括柜体尺寸、材质选择、内部布局、气体种类及纯度要求等,确保设备与具体工作流程无缝对接。
六、应用场景:广泛覆盖,助力产业升级
全自动单瓶特气柜广泛应用于以下领域:
半导体制造:为MOCVD、PECVD、刻蚀机等设备提供高纯度、稳定供应的特种气体。
光伏太阳能电池:支持硅材料生长、电池片制造等工艺对特种气体的需求。
生物医药工程:为实验室或生产线提供纯净、安全的特种气体,保障实验结果和生产质量。
材料分析实验室:满足高精度分析仪器对气体纯度和稳定性的要求。