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特气柜的功能设计及应用领域

2020-11-04 10:26:26        0

全自动特气柜(Gas Cabinet )是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的供应系统,基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断(当设定报警信号被触发时)。



沃飞WOFLY全自动特气柜(GC)通过采用PLC控制,触控屏为人机界面,通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置,实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能和高纯阀件的合理选择和布局,既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续供给和高纯度的要求,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。


特气柜主要用于特种气体的高纯度安全稳定输送,如:输送特种气体参与泛半导体行业集成电路制造的核心工艺流程:掺杂、光刻、刻蚀和CVD成膜工艺环节。


应用领域:

1、半导体工厂;

2、大学实验室;

3、液晶工厂;

4、太阳能电池工厂。



沃飞WOFLY全自动特气柜(GC)拥有SIME S2认证,报警侦测警报功能齐,第一时间发现泄漏并阻止泄漏气体扩散,及时报警处理,避免更大事故的发生,确保了正常生产和员工人身安全。