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TFT-LCD行业

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在TFT-LCD制造工艺CVD沉积工序中使用到的工艺特气:硅烷(S1H4),氨气(NH3),磷烷(PH3),笑气(N2O),NF3等,另外参与工艺过程的还有高纯度氢气和高纯度氮气等大宗气体。溅射工序中要用到氩气,溅射成膜气体是溅射的主要材料。首先要求成膜气体不能喝靶材发生化学反应,最合适的气体是惰性气体。蚀刻工序中也会用到大量的特气,而电子特气多是易燃易爆、剧毒的气体,因此对气路的要求很高,技术也要求很高。沃飞科技专业从事超高纯特气输送系统的设计与安装。


特气系统概念图


公司专业致力于气体管道工程,其主要产品有减压阀,卡套接头,阀门管件,管道系统安装、球阀针阀、VCR接头、焊接接头、阻火器、过滤器、气体管道系统、高纯管道系统、不锈钢洁净管等产品,是一家专业从事高纯度/特气供气系统、各种实验室/研究所供气系统、气体管道工程、安装调试服务于一体的高新技术企业,广泛应用于tft-lcd产业 包括:TFT-LCDAM-OLEDOLEDPDP、平板玻璃基板、偏光片、手机触摸屏、触容屏等


特气系统