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LED光电行业

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公司致力服务于实验室研究所、半导体芯片、光伏太阳能、LEDLCD平面显示、光纤制造、医药生物等高科技行业,为客户提供高纯气体、超高纯特殊气体、高纯化学品输送系统,以及实验室家具设计安装和无尘洁净室设计安装等相关服务。

      特种气体是光电子、微电子等领域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅 薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定 技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

      LED产业链中,外延技术、设备和材料是外延片制造技术的关键。实践证明,MOCVD是适合生长外延片的良好技术,也是一种工业化的实用技术。当前,MOCVD工艺已成为制造绝大多数光电子材料的基本技术。外延技术需要的超纯特种气体包括高纯砷烷、高纯磷烷、高纯氨气,砷化镓生产中应用硅烷N型掺 杂,而氯化氢和氯气常常用做蚀刻气,氩、氢、氮则是必须的载气。同时外延生长需要的有机源主要是三甲基镓,三甲基铟,三甲基铝,二乙基锌,二甲基锌,二茂 镁等。现有技术的发展对这些产品的品质要求也越来越高。

      随着化合物半导体技术的日益成熟和产业化进程的加快,外延技术需要的超纯特种气体和有机源的研制和制造技术不断提升。主要表现在:气体和有机源的深度纯 化技术;气瓶及管路内壁的洁净处理技术;ppmppbppt气体杂质检测技术;ppbppt级金属杂质的净化控制及分析检测技术;排放尾气的解毒报 警技术;一体化无污染供气系统的建立;特种气体混合气的配制技术;配套器件技术以及0.01~0.002μm颗粒的测试过滤技术等。为了适应日益发展的下 游产业的发展需要,特种气体生产商在产品纯化、灌装、检测等环节取得更多的创新技术。

      特种气体的发展趋势也伴随光电子、微电子产业的发展不断更新、进步。主要表现为产品品种的不断增加,新型半导体材料的出现,代之而来的是新一代支撑材料 的需求,特种气体生产厂家紧紧围绕下游芯片厂的需求,不断推出符合半导体工艺的新品种;同时特种气体质量不断提高,以LED产业用量最大的氨气为例,高纯 氨产品的纯度由最初的技术指标要求电子级(5N)到兆位一级(5.5N)、兆位二级(5.7N)发展到市场广泛应用在氮化镓生产中的蓝氨(6.4N),目 前氮化镓技术需求的高纯氨技术指标纯度超过99.99999%,业界已经认可的白氨已经完全商品化;由于产品中杂质如水份、碳氢化合物的含量在特种气体纯 度中都有严格限制,但绝大多数特殊气体因化学活性大,所以不容易保持其纯度,因此气体的纯度、供气系统的保证便成为半导体厂要求品质和经济性的关键。为避 免化合物半导体生产过程中频繁更换过程气体瓶,保证尽可能少引入杂质,气体的充装容器规格趋向大体积,产品包装的集装化,在具备条件的工厂还可以直接建设 气体输送管道,保证特种气体的供应质量稳定。



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工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领先的整体系统供应商。